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電子材料咨詢公司TECHCET日前發(fā)布報告，預(yù)計電子氣體行業(yè)可能出現(xiàn)供應(yīng)限制。在需求端，由于半導(dǎo)體行業(yè)的擴張，前沿邏輯芯片和3DNAND應(yīng)用對增長的影響最大。隨著晶圓廠的擴建在未來幾年持續(xù)上線，將需要額外的氣體供應(yīng)來滿足需求。

電子氣體在半導(dǎo)體制造過程中用量大且覆蓋85%以上的環(huán)節(jié)，可被用作環(huán)境氣、保護氣，載氣。近年來，隨著電子工業(yè)的快速發(fā)展，電子氣體在半導(dǎo)體行業(yè)中的地位日益凸顯。民生證券指出，隨著國產(chǎn)氣體企業(yè)品類擴充加速，未來三年，集成電路國產(chǎn)化的常用氣體，有望進一步實現(xiàn)多元產(chǎn)品覆蓋，伴隨多年技術(shù)積累，我國電子特氣行業(yè)有望迎來國產(chǎn)全面“開花”。

據(jù)財聯(lián)社主題庫顯示，相關(guān)上市公司中：

華特氣體實現(xiàn)包括氟碳類、光刻類、氫化物等在內(nèi)的約有50個產(chǎn)品供應(yīng)到集成電路供應(yīng)鏈的進口替代。

南大光電電子特氣產(chǎn)品中，高純磷烷、砷烷主要用于集成電路制造的摻雜工藝和LED的化學(xué)氣相沉積工藝。

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